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高能弧原理

阴极弧技术是一种以离子为沉积来源的镀膜技术。在真空条件下，通过低电压和高电流将靶材离化成离子状态，从而完成薄膜材料的沉积。其优点具有高硬度、高致密性与高沉积速度等，也是硬质薄膜制备方法中相当成熟且适合量产的技术，

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