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　　PECVD ( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition ) 属于等铝正亚铁亚铁离子体资料生物学的气质联用积累法。等铝正亚铁亚铁离子体资料生物学气质联用积累是在生物学气质联用积累中，促进的有毒有机废气废气，使其带来超高温等铝正亚铁亚铁离子体，资料发应物资的生物学可溶性，得以确定外加的这种措施。该措施可在较超高体温下行成有毒有机废气废气膜。比如说在其中一个发应窒内将基体建筑材料放于负极上，通入发应的有毒有机废气废气至较低大气压力(1～600Pa)，基体长期保持必须体温，以某些策略带来辉光电池充电，基躯干面付近的有毒有机废气废气电离，发应的有毒有机废气废气得出产甲烷，而且基躯干面带来负极溅射，得以提高了了外表皮可溶性。在外表皮上不产生着一般是的热生物学发应，还产生着冗杂的等铝正亚铁亚铁离子体生物学发应。　　建成膜还是徘徊三种无机化学表现的同样目的下建成的。    　调动辉光蓄电池充电的方法步骤主要的有：频射调动，交流电超高压调动，脉冲激光调动和徽波调动。    　　等阴阳离子体不断增强普通机械色谱磨合的重点独到之处：    　　沉积物平均温度低，对基体的组成和电学特征影响到小；膜的薄厚及含量一致性好；膜聚集紧密、针孔少，不容易干裂；膜层的悬挑脚手架力强；适用位置广，可化学合成各样彩石膜、无机物膜和巧妙膜。