中国世俱杯官网入口:请问,HiPIMS高能磁控电源输出线有什么注意事项?
请问,HiPIMS高能磁控电源输出线有什么注意事项?
一、电源输出线离腔体尽量近,电源线尽量短
为了保证脉冲电流波引入到真空腔体时波形不畸变,且衰减小。期望在系统中,脉冲电镀电源与真空腔体的距离2-3m为佳,长线易对脉冲电流波形的上升、下降沿产生较大的影响,真空腔体打火时,灭弧效果有影响。
请问,HiPIMS高能磁控电源输出线有什么注意事项?
一、电源输出线离腔体尽量近,电源线尽量短
为了保证脉冲电流波引入到真空腔体时波形不畸变,且衰减小。期望在系统中,脉冲电镀电源与真空腔体的距离2-3m为佳,长线易对脉冲电流波形的上升、下降沿产生较大的影响,真空腔体打火时,灭弧效果有影响。