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型号HiPIMS-100A
峰值电流100A
脉冲电压0~1000V
脉宽范围10~300uS
频率范围20~20000Hz
MAX功率1~2KW(可定制)
冷却方式风冷
输入电源AC220V(单相三线)
外控通讯RS485/TCP (Modbus)
重量20KG
特点应用波形多变，适合小靶材，校园科研用
应用推荐膜层试样，批量生产

100贝_compressed.jpg

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