HiPIMS技术制备纯金属薄膜时,靶材的选择需要考虑哪些因素?
HiPIMS 系统化学合成纯轻金属胶片时,靶材的进行需基础性考察各问题各种因素。先是是饱和度,高饱和度靶材可减掉塑料膜其它杂物,不稳功能与化工优点,其它杂物太多会使塑料膜电学、光学仪器等功能劣化。物理防御基本特征不同强化,凝固点与凝固点的影响堆积过程中,低凝固点靶材要控效率防受热,高凝固点的则需兼顾装置与成本投入;溶解度大、强度高的靶材抗溅射冲刷实力强,不利于维持塑料膜匀称性。
HiPIMS 系统化学合成纯轻金属胶片时,靶材的进行需基础性考察各问题各种因素。先是是饱和度,高饱和度靶材可减掉塑料膜其它杂物,不稳功能与化工优点,其它杂物太多会使塑料膜电学、光学仪器等功能劣化。物理防御基本特征不同强化,凝固点与凝固点的影响堆积过程中,低凝固点靶材要控效率防受热,高凝固点的则需兼顾装置与成本投入;溶解度大、强度高的靶材抗溅射冲刷实力强,不利于维持塑料膜匀称性。