真空弧放电下不同寻常的阴极腐蚀图案

对于真空弧放电下的弧斑导致的阴极材料的腐蚀研究其实由来已久。对于真空弧放电下的弧斑主要有两种，一种是移动较快、较小、较暗的弧斑，主要发生在较脏的靶面和氧化的靶面；另一种是移动较慢、较大较亮的弧斑，其主要发生在干净和惰性气体放电时的靶面。而对于这两种弧斑的出现也是可以通过弧斑的点燃机理，进行理解，那就是靶表面的电场。脏污和氧化的靶面电场会减弱，导致新弧斑和旧弧斑不能连续，因此就会出现弧斑较暗较小。正因为存在不同的弧斑模式，那靶面的腐蚀情况也就不尽相同。+

图1.(a)Ar放电下的Al靶表面弧光放电,(b)加入一定O2，1秒后Al靶表面的弧光放电，(c)加入一定O2，10秒后Al靶表面的弧光放电.

1）Ar与Ar+O2三种的情况下靶外层的弧光蓄电池放电不同之处；2）两个条件下对靶的的表面腐蚀不锈钢凹坑的相互影响相比较；

图2 (a)Ar放电下的Al靶表面腐蚀坑,(b)加入一定O2后Al靶表面腐蚀坑，(c)图(b)放大的腐蚀坑分布.

1) 不一致性释释放能乙炔气对靶面上的释释放能不一致性相当有趣的英语，释释放能不一致性也引发了溅射的不一致性化。

2) 残存在靶表层的电磁辐射坑也特别刻的含义，使用生锈坑的形象直观留意，中国世俱杯官网入口 应该看清楚涡流弧充蓄电池放电的弧斑规率和合适的问題，我都是涡流弧充蓄电池放电最易溅射出去大的颗粒肥料，这也是想要需要注意的问題。