在PECVD过程中，哪些因素可能导致无法起辉，以及如何处理这些故障？

在等化合物体增加化学工业气相色谱仪沉淀（PECVD）历程中，以上是一种些机会导至無法起辉的原则及外理方式：一、电源开关涉及到的方面电源开关错误代码根本原因：开关交流电源是带来等阴离子体的重要。一旦开关交流电源导致发动机故障，如打印输出输出过少、不导通或断路等症状，就始终无法 出示足够的电能使气体电离起辉。治疗工艺：便用职业 的电力公司查测装备查验电模块的工作输出瓦数、直流电和电阻等技术指标。对於击穿或断路的问题，都要分析查验电模块各电路，查阅是有电缆状态、接线头脱焊等现状，适时消除或拆卸磨损的各电路环节。

连接互联网大问题根本原因：识别系统使用于将电源模块打印输出的耗油率可行地藕合到现象腔室中的等铝离子体额定负载。假设识别系统障碍，如电解电容、电感电气元件搞坏或数据变化，会导至耗油率没有可行传输数据，为了不能开辉。治理步骤：应该可以通过网站数据分析一下仪等装置排查适应网站数据的参数表，如反射层弹性系数等。这对于破坏的电解电容或电感开关元件，要依据装置的标准的要求做出进行换掉，然后在进行换掉后如何修正适应网站数据，使其达成适应的状态。二、气态重要性各种因素乙炔气用户非常诱因：的有机废气气物联通人联通流量是PECVD过程中 中的必要叁数。这样的有机废气气物联通人联通流量过低，发生反应腔内的的有机废气气物有机废气浓度过高，易于诞生十分的电离阿尔法粒子来组成等阴离子体；而的有机废气气物联通人联通流量过高或者会促使的有机废气气物时未被有效果激活。治理措施：操作效果的手机流量把握器开展查看并的调整固体的手机流量，保障其在装置约定的适用范畴内。此外，开展查看固体输送管输送排水管道什么现象下有淤塞或透漏现象，对淤塞的输送排水管道开展疏通厕所，对透漏处开展密封带治理。混合气体色度不太缘故：杂物废气也许会修改印象废气的电离能和印象的特点，才能印象等亚铁离子体的引起。操作技巧：应用高色度的甲烷其他气休源，并观察甲烷其他气休清洁系统性会不一般事情。倘若甲烷其他气休清洁系统性发生故障率，当即修补或变更相关的的清洁元件，如进行过滤、吸柱等。